Protonendotierung Von Silizium: Untersuchung Und Modellierung Protoneninduzierter Dotierungsprofile In Silizium

Protonendotierung Von Silizium: Untersuchung Und Modellierung Protoneninduzierter Dotierungsprofile In Silizium
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  • Author(s): Johannes G Laven
  • Genre: Engineering and Technology
  • Language: German
  • Year: 2014
  • Ebook Format: PDF
  • File Size: 3.1 MB
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